Точный процесс фильтрации имеет решающее значение для поддержания постоянного распределения частиц по размерам, химической стабильности и сверхвысокой чистоты полировальных суспензий, что напрямую влияет на плоскостность поверхности пластины и уменьшение дефектов. В LOONG Filtration мы предоставляем производителям полупроводников специализированные решения для фильтрации, которые отвечают строгим требованиям процессов CMP, сочетая передовые мембранные технологии с конструкцией по контролю загрязнений. Будь то полировка оксидов, STI или металлов, наши системы помогают обеспечить высокую производительность, равномерную скорость съема и надежную работу при производстве передовых узлов.
