Un proceso de filtración de precisión es fundamental para mantener la distribución constante del tamaño de las partículas, la estabilidad química y la pureza ultra alta de las lechadas de pulido, lo que afecta directamente la planaridad de la superficie de la oblea y la reducción de defectos. En LOONG Filtration, brindamos a los fabricantes de semiconductores soluciones de filtración especializadas que cumplen con los estrictos requisitos de los procesos CMP, combinando tecnología avanzada de membranas con un diseño de control de contaminación. Ya sea para aplicaciones de óxido, STI o pulido de metales, nuestros sistemas ayudan a garantizar un alto rendimiento, tasas de eliminación uniformes y un rendimiento confiable en la fabricación de nodos avanzados.
