SOLUÇÃO AVANÇADA DE FILTRAGEM DE LÍQUIDOS DE POLIMENTO

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VISÃO GERAL DA FILTRAGEM DE LÍQUIDOS DE POLIMENTO

Um processo de filtração de precisão é fundamental para manter a distribuição consistente do tamanho das partículas, a estabilidade química e a pureza ultra-alta das pastas de polimento, impactando diretamente a planaridade da superfície do wafer e a redução de defeitos. Na LOONG Filtration, fornecemos aos fabricantes de semicondutores soluções de filtração especializadas que atendem aos rigorosos requisitos dos processos CMP, combinando tecnologia avançada de membrana com design de controle de contaminação. Seja para aplicações de óxido, STI ou polimento de metal, nossos sistemas ajudam a garantir alto rendimento, taxas de remoção uniformes e desempenho confiável na fabricação avançada de nós.
O processo de filtragem da LOONG foi projetado para eficiência e excelência:

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