По мере того как технологические узлы полупроводников сокращаются до 3, 2 нм и более, размеры элементов и 3D-архитектуры становятся экспоненциально сложными, превращая даже частицы размером менее 10 нм в убийцы производительности. В передовых производствах даже одно-единственное примесь в охлаждающих жидкостях, фоторезистах или травителях может нарушить структуру схемы, вызвать короткое замыкание соединений или привести к поломке всей пластины. Повышенная чувствительность к микрозагрязнениям сделала потоки сверхчистых жидкостей не просто требованием, а стержнем эффективности производства: более строгий контроль частиц напрямую приводит к повышению производительности на 15-30%, что позволяет ежегодно сокращать затраты на металлолом на миллиарды долларов.
Технологии фильтрации LOONG созданы для того, чтобы противостоять этим микроскопическим битвам. В ключевых процессах — от циркуляции суспензии CMP до фильтрации фоторезиста и очистки кислотно-основным травителем — наши решения нацелены и удаляют частицы, коллоиды и химические примеси на наноуровне. Используя мембранные материалы нового поколения (ПТФЭ, ПЭС) и производство сверхвысокой чистоты, мы преуспеваем в самых суровых условиях.
Наше решение для фильтрации предназначено для минимизации экстрагируемых веществ и поддержания целостности потока, гарантируя, что жидкости остаются чистыми от загрязнений на всех этапах пути от хранилища до технологических инструментов. Постоянная, повторяемая чистота, которая защищает ваши самые современные узлы и вашу прибыль.
Эффективно удаляет субмикронные частицы и ионы металлов, устраняя источники дефектов на поверхности пластин, обеспечивая соответствие фоторезистов и проявителей высочайшим требованиям чистоты для усовершенствованных узлов.
Исключительная стабильность партии Надежная фильтрация исключает различия между партиями, поддерживая критические параметры, такие как вязкость и поверхностное натяжение, в пределах спецификации, обеспечивая высокий выход стружки.
Снижение стоимости владения Высокоэффективная фильтрация сводит к минимуму потери ценных химикатов, одновременно продлевая срок службы компонентов и сокращая время простоев, оптимизируя общие эксплуатационные расходы.
Надежность бесперебойных поставок Полностью автоматизированная высокопроизводительная фильтрация обеспечивает непрерывное производство, предотвращая сбои в наличии инструментов для литографии и гарантируя надежные поставки на производственные предприятия.
Превосходная гарантия планаризации Точно контролирует распределение абразивных частиц по размерам и удаляет агломерированные загрязнения, предотвращая появление царапин на пластине, обеспечивая высокую производительность в процессах планаризации стружки.
Обещание абсолютной отсутствия загрязнений Эффективно удаляет ионы металлов и органические примеси, которые могут поставить под угрозу производительность устройства, обеспечивая соответствие стандартам высочайшей чистоты для усовершенствованных узлов.
Превосходная однородность от партии к партии. Постоянная фильтрация поддерживает однородный химический состав и концентрацию частиц в партиях, обеспечивая надежную повторяемость окна процесса для массового производства.
Оптимизированная экономика производства Высокопоточная фильтрация обеспечивает непрерывное производство суспензии, сокращает время простоев и минимизирует отходы сырья, повышая общую производительность и рентабельность.
