Yarı iletken işlem düğümleri 3nm, 2nm ve ötesine küçüldükçe, özellik boyutları ve 3D mimariler katlanarak karmaşıklaşarak 10 nm'nin altındaki parçacıkları bile verim öldürücülere dönüştürüyor. Gelişmiş üretimde, soğutma sıvılarındaki, fotorezistlerdeki veya aşındırıcılardaki tek bir kirletici madde, devre modellerini bozabilir, kısa devre bağlantılarını bozabilir veya levhaların tamamını arızalı hale getirebilir. Mikro kirlenmeye karşı bu artan hassasiyet, ultra temiz sıvı akışlarını sadece bir gereklilik değil, aynı zamanda üretim verimliliğinin temel taşı haline getirdi: daha sıkı parçacık kontrolü, doğrudan %15-30 daha yüksek verim anlamına gelir ve yıllık olarak milyarlarca dolarlık hurda maliyeti sağlar.
LOONG'un filtreleme teknolojileri bu mikroskobik savaşlarla doğrudan yüzleşmek için tasarlanmıştır. Çözümlerimiz, CMP bulamaç sirkülasyonundan fotorezist filtrelemeye ve asit/baz aşındırıcı saflaştırmaya kadar temel süreçlerde nano ölçekte parçacıkları, kolloidleri ve kimyasal safsızlıkları hedefler ve giderir. Yeni nesil membran malzemelerinden (PTFE, PES) ve ultra yüksek saflıkta üretimden yararlanarak en zorlu ortamlarda başarılı oluyoruz.
Filtrasyon çözümümüz, ekstrakte edilebilir maddeleri en aza indirecek ve akış bütünlüğünü koruyacak şekilde tasarlanmış olup, sıvıların depolamadan proses araçlarına kadar kirletici maddeden uzak kalmasını sağlar. En gelişmiş düğümlerinizi ve kârlılığınızı koruyan tutarlı, tekrarlanabilir temizlik.
Plaka yüzeylerindeki kusur kaynaklarını ortadan kaldırmak için mikron altı parçacıkları ve metal iyonlarını etkili bir şekilde ortadan kaldırarak fotorezistlerin ve geliştiricilerin gelişmiş düğümler için aşırı saflık gereksinimlerini karşılamasını sağlar.
Olağanüstü Parti Tutarlılığı Güvenilir filtreleme, yüksek talaş verimini desteklemek için viskozite ve yüzey gerilimi gibi kritik parametreleri spesifikasyon dahilinde tutarak partiden partiye değişimi ortadan kaldırır.
Daha Az Sahip Olma Maliyeti Yüksek verimli filtreleme, yüksek değerli kimyasalların israfını en aza indirirken bileşenlerin hizmet ömrünü uzatır ve arıza süresini azaltarak genel işletme maliyetlerini optimize eder.
Kesintisiz Tedarik Güvenliği Tam otomatik, yüksek akışlı filtreleme, sürekli üretime olanak tanır, litografi araçlarının kullanılabilirliğindeki kesintileri önler ve fabrika operasyonlarına güvenilir tedarik sağlar.
Üstün Düzlemselleştirme Güvencesi Aşındırıcı parçacık boyutu dağılımını hassas bir şekilde kontrol eder ve yonga levhanın çizilmesini önlemek için topaklaşmış kirletici maddeleri gidererek talaş düzlemselleştirme işlemlerinde yüksek verim sağlar.
Mutlak Kirlenmeme Sözü Gelişmiş düğümler için aşırı saflık standartlarını karşılayarak, cihaz performansını tehlikeye atabilecek metal iyonlarını ve organik yabancı maddeleri etkili bir şekilde ortadan kaldırır.
Partiden Partiye Mükemmel Tekdüzelik Tutarlı filtreleme, partiler arasında tek tip kimyasal bileşim ve parçacık konsantrasyonunu korur ve seri üretim için güvenilir proses penceresi tekrarlanabilirliği sağlar.
Optimize Edilmiş Üretim Ekonomisi Yüksek akışlı filtreleme, sürekli bulamaç üretimine olanak tanır, arıza süresini azaltır ve hammadde israfını en aza indirerek genel kapasiteyi ve karlılığı artırır.
